氙气的新用途是用在电子芯片制造业，也是目前氙需求增长及对氙投机买卖的重要原因，几家大型芯片制造商正使用氙气等离子蚀刻，主要用于微电子机械系统（ MEMS ）的制造。MEMS设备可将微电子和微机械集成为一个整体，能在一块芯片上制作更复杂及功效更强的电路。这种技术从根本上把电脑芯片（处理）和传感器（收集）结合到一个元件上，可以批量生产，这种芯片的潜在用途不可限量，氙气蚀刻工艺就由一些半导体制造商用于生产这种芯片.

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